Döküman No
MRLAB.TL. 0017
Yayın Tarihi
02.12.2021
Revizyon Tarihi
Revizyon No
Hazırlayan
.
Onaylayan
.
  1. AMAÇ

 

Bu iş talimatı, RTEÜ Merkezi Araştırma Laboratuvarı Uygulama ve Araştırma Merkezi’nde bulunan SEM cihazının güvenli ve doğru kullanımını sağlamak amacıyla hazırlanmıştır.

 

  1. KAPSAM

 

Bu talimat, RTEÜ Merkezi Araştırma Laboratuvarı Uygulama ve Araştırma Merkezi’nde bulunan Jeol 6510 SEM cihazı ile yapılacak seramik, metal, polimer, ince film, jeolojik malzemeler ve biyolojik numunelerin topografi, morfoloji, şekil, boyut, bileşim ve kristallografik yapıları hakkında yüksek çözünürlükte görüntü elde edilmesini kapsamaktadır.

 

  1. SORUMLULAR

 

Cihaz Analiz Sorumlusu

 

  1. UYGULAMA

    1. SEM Cihazının Açılması

          • Cihazın bağlı olduğu UPS kaynağının uygun koşullarda çalışıyor olduğu kontrol edilir.

          • Cihazın bağlı olduğu sigorta açılır.

          • Soğutucunun “ON” düğmesine basılarak çalıştırılır.

          • SEM cihazının üzerinde bulunan kontak “I” konumuna çevrilir.

          • Cihaza bağlı olan bilgisayar açılır.

          • Bilgisayarın masaüstünde bulunan “Jeol” Programı çift tıklanarak açılır.

          • Programda üst solda yer alan “HT” nin “ON” olması beklenir.

 

    1. Numune Hazırlık ve Numunenin Cihaza Yerleştirilmesi

  • SEM cihazında ölçüm yapılacak numunenin elektriksel iletkenliğinin olması gerekmektedir.

  • Numune iletken ise mevcut altlıklara karbon bant yapıştırılır ve iletken olan numuneler bantların üzerine yapıştırılır.

  • Numune iletken değil ise karbon bant yapıştırılmış altlıklara yapıştırılır ve altın kaplama cihazında altın kaplanır.

  • Cihazın ön kısmında bulunan kapak açılır ve numune tutucu buradaki çeneye takılır. Kapak kapatılır.

  • Programın sol alt kısmında yer alan “Airloock” tıklanır. Daha sonra “ALC EVAC” a tıklanır.

  • Cihazın ön kısmındaki kol yukarı kaldırılarak öne doğru alınır ve “Hold” yönüne döndürülür.

  • Cihazın arka odasının kapısı açılır ve numune kol yardımıyla ileri itilir. Kolda yer alan “Release” çevrilir.

  • Kol geri çekilerek yerine oturtulur.

 

    1. SEM Analizinin Yapılması

  • Numunenin yüksekliğine göre programdan “Z” mesafesi ayarlanır. “HT ON” a basılır.

  • Ölçüm yapılacak voltaj değeri programın sol alt kısmından ayarlanır.

  • Numune yüzeyine gereken netlik ayarları “SCAN 1” ve “SCAN 2” seçeneklerinden yapılarak “SCAN 3” sekmesinden görüntü çekilir.

  • Görüntü tarandıktan sonra çıkan “Save” seçeneğinden ölçüm sonucunun kayıt edileceği dosya ve isim seçilir.

 

    1. Numunenin Cihazdan Alınması ve SEM Cihazının Kapatılması

  • Ölçüm bittiğinde programın sol üst köşesinden “HT OFF” tıklanır.

  • Programın sol alt kısmında yer alan “Airloock” tıklanır. Daha sonra “ALC EVAC” a tıklanır.

  • Cihazın ön kısmındaki kol yukarı kaldırılarak öne doğru alınır ve “Release” moduna getirilir.

  • Cihazın arka odasının kapısı açılır ve numune kol yardımıyla ileri itilir. Kolda yer alan “Hold” çevrilir.

  • Kol geri çekilir. Arka odanın kapısı kapatılır.

  • Kol “Release” moduna getirilir ve kol kaldırılarak yerine oturtulur.

  • Kapak açılarak numune alınır.

  • SEM cihazının üzerinde bulunan kontak “0” konumuna çevrilir.

  • 20 dk beklendikten sonra cihaza bağlı soğutucu kapatılır.

  • Cihaza bağlı sigorta kapatılır.

  • Bilgisayar kapatılır.