-
AMAÇ
Bu iş talimatı, RTEÜ Merkezi Araştırma Laboratuvarı Uygulama ve Araştırma Merkezi’nde bulunan ince film kaplama cihazının güvenli ve doğru kullanımını sağlamak amacıyla hazırlanmıştır.
-
KAPSAM
Bu talimat, RTEÜ Merkezi Araştırma Laboratuvarı Uygulama ve Araştırma Merkezi’nde bulunan Vaksis marka PVD-MT/2M 2T model ince film kaplama cihazının kullanımını kapsamaktadır.
-
SORUMLULAR
Cihaz Analiz Sorumlusu.
-
UYGULAMA
-
İnce Film Kaplama Cihazının Açılması
-
-
-
-
-
-
Cihazın enerji bağlantıları kontrol edilir.
-
Cihaza ait azot ve argon tüpleri üzerindeki manifolt vanaları açılır.
-
Cihazın arkasındaki sigortalar açılır.
-
Cihazın yanındaki soğutucu chiller ve kompresör açılır.
-
Cihazın önündeki “MAIN” şalteri I konumuna getirilir.
-
Cihazın önündeki sırasıyla “Yeşil buton”, “UPS” ve “PC” butonları basılarak cihazın elektronik sistemleri ve bilgisayar açılır.
-
Masaüstünde Vaksis programı açılır.
-
-
-
-
-
-
İnce Film Kaplama İşleminin Gerçekleştirilmesi
-
-
Cihazın ön kapağı açılır.
-
Kaplama yapılacak malzeme alttaş kısmına montajı yapılır.
-
Kaplama materyali, kaplama teknolojisi tipine göre “RF” veya “DC” ye göre yerleştirilir.
-
Cihazın ön kapağı kapatılır.
-
Yazılımın sağ tarafında bulunan TAB kontrol seçeneklerinde “Recipe” seçilir.
-
Bu sayfada daha önceden kaydedilmiş reçete listesinden işlem seçilir.
-
Yazılım üzerinden “Load Coating” Butonuna tıklanarak reçete sisteme yüklenir.
-
Yazılım üzerinden “Start Coating” butonu tıklanarak otomatik kaplama işlemi başlatılır.
-
Yazılım reçetedeki görevleri tamamladıktan kaplama işlemi tamamlanmış olur.
-
-
İnce Film Kaplama Cihazının Kapatılması
-
-
Vaksis programı üzerinden “Automatic Prosecures” kısmından “Shut down” butonuna basılır.
-
Vaksis programı kapatılır.
-
Cihaz içindeki numune ve kaplama malzemesi içeriden alınır.
-
Kaplama ünitesinin içi temizlenir.
-
Cihaz önündeki “Kırmızı buton” ile sistem kapatılır.
-
Cihazın önündeki “MAIN” şalteri O konumuna getirilir.
-
Cihazın yanındaki soğutucu chiller ve kompresör kapatılır.
-
Cihazın arkasındaki sigortalar kapatılır.
-
Cihazın arkasındaki azot ve argon tüplerinin manifolt vanaları kapatılır.