Döküman No
MRLAB.TL. 0043
Yayın Tarihi
02.12.2021
Revizyon Tarihi
Revizyon No
Hazırlayan
.
Onaylayan
.
  1. AMAÇ

 

Bu iş talimatı, RTEÜ Merkezi Araştırma Laboratuvarı Uygulama ve Araştırma Merkezi’nde bulunan ince film kaplama cihazının güvenli ve doğru kullanımını sağlamak amacıyla hazırlanmıştır.

 

  1. KAPSAM

 

Bu talimat, RTEÜ Merkezi Araştırma Laboratuvarı Uygulama ve Araştırma Merkezi’nde bulunan Vaksis marka PVD-MT/2M 2T model ince film kaplama cihazının kullanımını kapsamaktadır.

 

 

  1. SORUMLULAR

 

Cihaz Analiz Sorumlusu.

 

  1. UYGULAMA

    1. İnce Film Kaplama Cihazının Açılması

 

          • Cihazın enerji bağlantıları kontrol edilir.

          • Cihaza ait azot ve argon tüpleri üzerindeki manifolt vanaları açılır.

          • Cihazın arkasındaki sigortalar açılır.

          • Cihazın yanındaki soğutucu chiller ve kompresör açılır.

          • Cihazın önündeki “MAIN” şalteri I konumuna getirilir.

          • Cihazın önündeki sırasıyla “Yeşil buton”, “UPS” ve “PC” butonları basılarak cihazın elektronik sistemleri ve bilgisayar açılır.

          • Masaüstünde Vaksis programı açılır.

 

    1. İnce Film Kaplama İşleminin Gerçekleştirilmesi

 

  • Cihazın ön kapağı açılır.

  • Kaplama yapılacak malzeme alttaş kısmına montajı yapılır.

  • Kaplama materyali, kaplama teknolojisi tipine göre “RF” veya “DC” ye göre yerleştirilir.

  • Cihazın ön kapağı kapatılır.

  • Yazılımın sağ tarafında bulunan TAB kontrol seçeneklerinde “Recipe” seçilir.

  • Bu sayfada daha önceden kaydedilmiş reçete listesinden işlem seçilir.

  • Yazılım üzerinden “Load Coating” Butonuna tıklanarak reçete sisteme yüklenir.

  • Yazılım üzerinden “Start Coating” butonu tıklanarak otomatik kaplama işlemi başlatılır.

  • Yazılım reçetedeki görevleri tamamladıktan kaplama işlemi tamamlanmış olur.

 

    1. İnce Film Kaplama Cihazının Kapatılması

 

  • Vaksis programı üzerinden “Automatic Prosecures” kısmından “Shut down” butonuna basılır.

  • Vaksis programı kapatılır.

  • Cihaz içindeki numune ve kaplama malzemesi içeriden alınır.

  • Kaplama ünitesinin içi temizlenir.

  • Cihaz önündeki “Kırmızı buton” ile sistem kapatılır.

  • Cihazın önündeki “MAIN” şalteri O konumuna getirilir.

  • Cihazın yanındaki soğutucu chiller ve kompresör kapatılır.

  • Cihazın arkasındaki sigortalar kapatılır.

  • Cihazın arkasındaki azot ve argon tüplerinin manifolt vanaları kapatılır.