Döküman No
MRLAB.TL. 0031
Yayın Tarihi
02.12.2021
Revizyon Tarihi
Revizyon No
Hazırlayan
.
Onaylayan
.
  1. AMAÇ

 

Bu iş talimatı, RTEÜ Merkezi Araştırma Laboratuvarı Uygulama ve Araştırma Merkezi’nde bulunan Altın Kaplama cihazının güvenli ve doğru kullanımını sağlamak amacıyla hazırlanmıştır.

 

  1. KAPSAM

 

Bu talimat, , RTEÜ Merkezi Araştırma Laboratuvarı Uygulama ve Araştırma Merkezi’nde bulunan Quorum SC7620 Sputter Coater marka/model altın kaplama cihazı ile numune yüzeylerine altın kaplama işlemlerini kapsar.

 

  1. SORUMLULAR

 

 Cihaz Analiz Sorumlusu

 

  1. UYGULAMA

    1. Numunenin Altın Kaplamaya Hazırlanması

          • Cihaza ait silindir numune tutuculara karbont bant yapıştırılır.

          • Numune katı bir numune ise karbont banta yapıştırılır.

          • Numune toz bir numune ise kağıt üzerine dökülür ve karbon bant numuneye bastırılır.

 

    1. Numunenin Altın Kaplanması

  • Hazırlanan numune/numuneler cihazın üst kısmında yer alan camlı bölmeye koyulur.

  • Cihazın arka kısmında bulunan “ON” tuşuna basılır ve cihaz açılır.

  • Cihazın ön kısmında bulunan “vent” ve “leak” düğmelerini döndürerek kapatıyoruz.

  • Cihazın ön kısmında bulunan “Start Pump” a basılır.

  • Vakum göstergesi 10-6-10-8  barr’a gediğinde, “Set Plasma” ya basılı tutularak “leak” açılmaya başlanır.

  • Cam bölmede plasma görülmeye başlandığında (yaklaşık 5 mA civarında) set plasmadan elimiz çekilir.

  • Argon bağlantı borusu cihazın arka kısmına bağlanır ve argon tüpü açılır.

  • Cihazın ön kısmında bulunan zaman ayarından kaplama süresi ayarlanır.

  • “Start Process” e basılır.

Kaplama işlemi bittiğinde “leak ve “vent” düğmelerini döndürerek açıyoruz ve numuneyi cihazdan çıkarıyoruz