1.Sorumlular
Bu talimatın uygulanmasından tüm öğrenciler ve personel sorumludur.
2.Uygulama
- 4 nokta yöntemi yapılan örnek, numune tutucuya tırnak cilası yardımıyla yapıştırılır.
- 4 nokta yönteminin dirençleri ölçülür ve gerekli kontaklar yapılıp iletimin olup olmadığı kontrol edilir. Su döngü aleti açılır ve başlatılır. Vakum odasının kapağı oring ile kapatılır. Vakum odasının vanalar kapatılır.
- Kaba vakum alma işlemi için hem kaba vakum aleti hem de vakum istasyonu açılır. Kaba vakum seviyesi 9x10-1 Torr’a gelince vakum istasyonu AÇ/KAPA düğmesinden açılır ve kabak vakum kısmı başlatılır.
- Vakum odasındaki vakum değeri 8x10-2 Torr seviyesine gelince vakum odasının altında bulunan vana açılır.
- Vakum seviyesi 7.5x10-2 Torr seviyesine gelince turbo kısmı otomatik olarak başlatılır.
- Sıcaklık kontrolcüsü, yüksek akım kaynağı, su pompası, su soğutma pompası, DC ve AC akım kaynağı ve nano-voltmetre açılır.
- Program başlatılır ve gerekli dosyalar düzenlenir.
- Program bitince vakum odasındaki ana vana kapatılır. Turbo kısmı kapatılır ve vakum seviyesi @5x10-2 Torr ve sıcaklık 310 K seviyesine gelince tüm aletler kapatılır.
- 24 saat sonra gerekli temizlik işlemleri yapılır.