Doküman No
FEF.TL.0023
Yayın Tarihi
09.10.2019
Revizyon Tarihi
Revizyon No
Hazırlayan
Birim Kalite Komisyonu
Onaylayan
Dekan

1.Sorumlular

Bu talimatın uygulanmasından tüm öğrenciler ve personel sorumludur.

 

2.Uygulama

  1. 4 nokta yöntemi yapılan örnek, numune tutucuya tırnak cilası yardımıyla yapıştırılır.
  2. 4 nokta yönteminin dirençleri ölçülür ve gerekli kontaklar yapılıp iletimin olup olmadığı kontrol edilir. Su döngü aleti açılır ve başlatılır. Vakum odasının kapağı oring ile kapatılır. Vakum odasının vanalar kapatılır.
  3. Kaba vakum alma işlemi için hem kaba vakum aleti hem de vakum istasyonu açılır. Kaba vakum seviyesi 9x10-1 Torr’a gelince vakum istasyonu AÇ/KAPA düğmesinden açılır ve kabak vakum kısmı başlatılır.
  4. Vakum odasındaki vakum değeri 8x10-2 Torr seviyesine gelince vakum odasının altında bulunan vana açılır.
  5. Vakum seviyesi 7.5x10-2 Torr seviyesine gelince turbo kısmı otomatik olarak başlatılır.
  6. Sıcaklık kontrolcüsü, yüksek akım kaynağı, su pompası, su soğutma pompası, DC ve AC akım kaynağı ve nano-voltmetre açılır.
  7. Program başlatılır ve gerekli dosyalar düzenlenir.
  8. Program bitince vakum odasındaki ana vana kapatılır. Turbo kısmı kapatılır ve vakum seviyesi  @5x10-2 Torr ve sıcaklık 310 K seviyesine gelince tüm aletler kapatılır.
  9. 24 saat sonra gerekli temizlik işlemleri yapılır.