Döküman No
FEF.TL.0023
Yayın Tarihi
09.10.2019
Revizyon Tarihi
Revizyon No
Hazırlayan
Birim Kalite Komisyonu
Onaylayan
Dekan

-4 nokta yöntemi yapılan örnek, numune tutucuya tırnak cilası yardımıyla yapıştırılır.

-4 nokta yönteminin dirençleri ölçülür ve gerekli kontaklar yapılıp iletimin olup olmadığı kontrol edilir. Su döngü aleti açılır ve başlatılır. Vakum odasının kapağı oring ile kapatılır. Vakum odasının vanalar kapatılır.

-Kaba vakum alma işlemi için hem kaba vakum aleti hem de vakum istasyonu açılır. Kaba vakum seviyesi 9x10-1 Torr’a gelince vakum istasyonu AÇ/KAPA düğmesinden açılır ve kabak vakum kısmı başlatılır.

-Vakum odasındaki vakum değeri 8x10-2 Torr seviyesine gelince vakum odasının altında bulunan vana açılır.

-Vakum seviyesi 7.5x10-2 Torr seviyesine gelince turbo kısmı otomatik olarak başlatılır.

-Sıcaklık kontrolcüsü, yüksek akım kaynağı, su pompası, su soğutma pompası, DC ve AC akım kaynağı ve nano-voltmetre açılır.

-Program başlatılır ve gerekli dosyalar düzenlenir.

-Program bitince vakum odasındaki ana vana kapatılır. Turbo kısmı kapatılır ve vakum seviyesi  @5x10-2 Torr ve sıcaklık 310 K seviyesine gelince tüm aletler kapatılır.

-24 saat sonra gerekli temizlik işlemleri yapılır.