Döküman No
FEF.TL.0031
Yayın Tarihi
09.10.2019
Revizyon Tarihi
Revizyon No
Hazırlayan
Birim Kalite Komisyonu
Onaylayan
Dekan

-Numune tutucuya örnek tırnak cilası yardımıyla yapıştırılır. Vakum odasının içindeki kryostatın kafasına, numune tutucu yerleştirilir.

-Mıknatıs ve numune tutucu arasındaki mesafe 0,15-0,40 mm olacak şekilde hareket sistemiyle ayarlanır. Su döngü aleti açılır ve başlatılır. Vakum odasının kapağı oring ile kapatılır. Vakum odasının solundaki ve üstteki siyah renkli vanalar kapatılır. Sağındaki vana açık bırakılır.

-Kaba vakum alma işlemi için hem kaba vakum aleti hem de vakum istasyonu açılır. Kaba vakum seviyesi 9x10-1 Torr’a gelince vakum istasyonu AÇ/KAPA düğmesinden açılır ve kabak vakum kısmı başlatılır.

-Vakum odasındaki vakum değeri 8x10-2 Torr seviyesine gelince vakum odasının altında bulunan vana açılır.

-Vakum seviyesi 7.5x10-2 Torr seviyesine gelince turbo kısmı otomatik olarak başlatılır. Üstteki siyah vana kapatılır. Kaba vakum aleti kapatılır. Sol ve sağda bulunan vanalar açılır ve kaba vakum aletinin borusunun havaya çıkışı sağlanır.

-Sıcaklık kontrolcüsü, yük sensörü ve hareket sistemi açılır.

-Program başlatılır ve gerekli dosyalar düzenlenir.

-Program bitince vakum odasındaki ana vana kapatılır. Turbo kısmı kapatılır ve vakum seviyesi  @5x10-2 Torr ve sıcaklık 310 K seviyesine gelince tüm aletler kapatılır.